產品信息
產品介紹
兩聯三通隔膜閥，集成式設計，緊湊型閥體，吹掃效率高，內部無螺紋和無彈簧設計，死體積小清潔度高，膜片式硬密封結構，超低漏率；適用于超高純度氣體，半導體用（毒、腐）氣體，滿足超大規模集成電路的工藝氣體要求。
主要部件材料
閥體 316L /316L（VIM+VAR）
膜片 Ni-Co alloy /UNS R30003
密封墊 PCTFE
工作條件
工作壓力 真空至 150psig
爆破壓力 3000psig
流量系數 0.3
工作溫度 -10～80℃
內漏率 ≤1×10-10Pa.m3/sec.He
外漏率 ≤1×10-10Pa.m3/sec.He
內表面粗糙度 Ra≤0.1μm
產品特點
適合超高純度氣體應用
Ni-Co alloy /UNS R30003 材料膜片
快速、可重復執行的氣動執行機構
每臺閥門進行單獨的氦質譜檢測
超長使用壽命內部無螺紋和無彈簧設計大幅減少了雜質的生成和氣體的卷入
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2024-11-21
兩聯三通.pdf
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