QPV（H）高速隔膜閥
類別：
產(chǎn)品信息
產(chǎn)品介紹
QPH（H） 系列高速隔膜閥，膜片式硬密封，超低漏率，長壽命，快速響應(yīng)，可選耐高溫；適用于原子層沉積（ALD）系統(tǒng)，主要用于集成電路晶圓生產(chǎn)的環(huán)節(jié)。超高純度氣體，半導體用（毒、腐）氣體。
主要部件材料
閥體 316L （VIM+VAR）
膜片 Ni-Co alloy /UNS R30003
密封墊 PFA
工作條件
工作壓力 真空至145psig
流量系數(shù) 0.27/0.62
工作溫度 0 ～ 70℃，0 ～200℃（高溫型）
內(nèi)漏率 ≤1×10-10Pa.m3/sec.He
外漏率 ≤1×10-10Pa.m3/sec.He
內(nèi)表面粗糙度 Ra≤0.13μm
產(chǎn)品特點
快速響應(yīng)下的超長使用壽命
耐高溫執(zhí)行器
每臺閥門進行單獨氦質(zhì)譜泄漏測試
可選的模塊化表面安裝、卡套管對焊和UCR® 端接
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2024-11-21
2023中科艾爾閥閥系列QPV-H.pdf
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