一體化氣體分配系統(tǒng)
產(chǎn)品信息
產(chǎn)品介紹
MGDS氣體輸送系統(tǒng)，利用平面密封技術(shù)，在更緊湊的氣體面板上構(gòu)建氣體輸送系統(tǒng)。每個表面安裝組件遵循 SEMI 標(biāo)準(zhǔn)，可根據(jù)需求形成不同的配置形式。維護(hù)時，僅需在面板上方進(jìn)行操作，簡單方便。
MGDS 系列配套專用的減壓器、隔膜閥、單向閥、底座及零部件。
主要部件材料
MGDS底座系列 316L /316L（VIM+VAR）
MHD系列 316L/316L（VIM+VAR）+Ni-Co alloy
MPD系列 316L/316L（VIM+VAR）+Ni-Co alloy
MCV系列 316L/316L（VIM+VAR）+Ni-Co alloy+FFKM
工作條件
工作壓力 0 ～ 150psi
外漏率 ≤ 1×10 -10 Pa.m3 /sec.He
工作溫度 -10 ～ 60℃
內(nèi)表面粗糙度 Ra ≤ 0.13μm
產(chǎn)品特點(diǎn)
利用平面密封技術(shù)，在更緊湊的氣體面板上構(gòu)建氣體輸送系統(tǒng)
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